等離子體協(xié)助ＣＶＤ有三種類型 ：

１）微波等離子體ＣＶＤ（ＭＰＣＶＤ，微波激發(fā)頻率通常為２．４５ＧＨｚ）；

２）ＲＦ等離子體ＣＶＤ（通常激發(fā)頻率是１３．５６ＭＨｚ）；

３）直流等離子體ＣＶＤ。

相對于其他方法，MPCVD法優(yōu)勢如下 ：

１）反應(yīng)器的簡單、靈活和商業(yè)可用 ；

２）微波非等溫等離子體的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，允許連續(xù)沉積數(shù)十小時或數(shù)百小時，并且樣品質(zhì)量可重現(xiàn)；

３）高能量效率（高等離子體密度和低鞘電勢），保障合理的成本；

４）具備生長大尺寸金剛石薄膜能力 ；

５）與其他ＣＶＤ技術(shù)（例 如２０００°Ｃ 的 ＨＦＣＶＤ）相比，沉積溫度相對較低，因此外延層和襯底之間的熱失配和所產(chǎn)生的應(yīng)力較小 。