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MPCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)基本組成有哪些?

文字:[大][中][小] 手機頁面二維碼 2022/5/6     瀏覽次數(shù):    

MPCVD 設(shè)備結(jié)構(gòu)基本組成包括控制單元、微波單元、水冷單元、真空單元等。通過真空單元將腔體抽真空,保障金剛石生長所需低真空狀態(tài)。然后通過控制單元控制各個氣路的流量和腔體壓力,將反應(yīng)氣源( CH4、H2、Ar、O2、N2等) 導(dǎo)入腔體中并控制在一定的腔壓下。待氣流穩(wěn)定后,通過微波單元產(chǎn)生微波,由波導(dǎo)管將微波導(dǎo)入腔體中。在微波場的作用下將反應(yīng)氣體變?yōu)榈入x子體態(tài),形成懸浮于金剛石襯底上方的等離子體球,并利用等離子體的高溫使得襯底加熱到一定溫度。腔體內(nèi)產(chǎn)生的多余熱量由水冷單元傳導(dǎo)出去。

單晶金剛石 MPCVD 生長過程中,通過調(diào)節(jié)功率大小、氣源組分、腔壓等條件,保障優(yōu)良的生長條件。另外,由于等離子體球和腔壁無接觸,保障了金剛石生長過程無雜質(zhì)粒子的摻入,提高了金剛石質(zhì)量。

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